工业用的含氟废气一般是四氟化碳、三氟化氮、六氟化硫等标准混合气，在工业加工的过程中会产生大量的含酸性气体的废气，下面简单讲解一下关于含氟工业废气处理设备。
在对于生产芯片用的刻蚀剂、清洗剂时需要用到三氟化氮，随着因特网、电路、液晶面板、光伏太阳能、手机的迅速普及，使得芯片的使用率提高使得三氟化氮的使用量越来越大。
含氟工业废气处理设备可以采用直接吸收法和氟化氢铵熔融盐电解法的工艺来进行废气处理。
氟化氢铵熔融盐电解法：
电解法工艺中会加入电解铝，电解铝生产的污染源冰晶石一氧化铝熔体电解制铝过程中,散发的有害气体与粉尘主要有固态与气态氟化物二者各占约50%左右。
直接吸收法：采用水、碱性溶液或某些盐类溶液来吸收含氟废气，设备在运行过程中选择配置的吸收剂还可以得到氟硅酸等副产品，最后以此来达到净化或者回收的目的。
工业废气处理设备的设备结构简单、操作方便、体积小、易实现而且净化过程可以回收各种氟化物，设备的净化效率高。
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